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総合科学技術研究機構  /
先端マイクロ・ナノシステム技術研究センター

 タナカ   カツヒコ   (男)
 田中    克彦   上席研究員
 Katsuhiko   TANAKA

■兼務所属(本学内)
総合科学技術研究機構   /
防災フロンティア研究センター
総合科学技術研究機構   /
先端材料技術研究センター
■出身大学院・出身大学他
1967  金沢大学  工学部  卒業
1977  大阪大学大学院  基礎工学研究科  博士課程  修了
■取得学位
工学博士 (1977/03 大阪大学)  
■職歴
1971/04/01-2003/03/31  ㈱村田製作所
1976/04-1977/03  大阪工業大学非常勤講師
2003/04/01-2004/03/31  立命館大学理工学部ロボティクス学科教授
2004/04/01-2007/03/31  立命館大学理工学部マイクロ機械システム工学科教授
2007/04/01-  立命館大学総合理工学研究機構チェアプロフェッサ
2015/04/01-  立命館大学総合科学技術研究機構 上席研究員
■委員歴
1996-2003  日本学術振興会  薄膜131委員会委員
1997-1998  日本真空協会  関西支部幹事
2001-2003  日本材料学会  評議員
2002-2003  電気学会  機能材料・プロセス技術調査専門委員会委員
2002-2004  日本材料学会  編集幹事
2000-2007  センシング技術応用研究会  幹事
2003-  センシング技術応用研究会  理事
2004-2011  新無機膜研究会  会長
2016/06-  新無機膜研究会  顧問
2005/04-2007/03  応用物理学会  教育・公益事業委員
2007-2008  圧電マイクロデバイス研究会  会長
2008/04-2010/03  エレクトロニクス実装学会  関西支部幹事
2013-  圧電MEMS研究会  幹事
■所属学会
新無機膜研究会  
応用物理学会  
センシング技術応用研究会  
電気学会  
日本材料学会  
電子情報通信学会  
日本セラミック協会  
日本真空協会  
地盤工学会  
日本非破壊検査協会  
■研究テーマ
(1)Siマイクロジャイロ
(2)PZT圧電薄膜の作製と応用に関する研究
(3)PZT圧電セラミックスとSi基板の接合技術
(4)圧電駆動型焦点可変ミラーに関する研究
(5)診断・治療のためのマイクロ体内ロボットの開発
(6)超音波カテーテルの研究
(7)医療用超音波診断素子の小型高感度化に関する研究
(8)防災と安全のための複合大規模センサシステムおよびロバストネットワークの構築
豪雨斜面崩壊モニタリング
■研究概要
マイクロ電気機械システム(MEMS)の研究

 マイクロマシニングを用いて、センサ、アクチュエータをはじめとするマイクロ電気機械システムの高機能化・高集積化の研究を行う。圧電材料、圧電アクチュエータをベースにして研究を展開している。
超音波センサの医療分野、防災分野への応用に関する研究を行っている。

【研究テーマ(1)概要】
Siマイクロマシンニング技術によるマイクロジャイロの作製

【研究テーマ(2)概要】
スパッタリング法、MOCVD法によるPZT薄膜の作製技術とデバイス応用に関する研究

【研究テーマ(3)概要】
Au介在層またはガラス介在層によるPZTセラミックスとSiウエハの接合技術とその応用に関する研究

【研究テーマ(4)概要】
圧電アクチュエータを用いてミラーの焦点距離を制御する研究

【研究テーマ(5)概要】
体内診断・治療用マイクロロボットを実現するための要素デバイスとして、マイクロポンプ、超音波診断素子を研究

【研究テーマ(6)概要】
血管内診断用超音波診断素子を研究

【研究テーマ(7)概要】
Siマイクロマシニング技術を用いて小型高感度の超音波素子を実現する

【研究テーマ(8)概要】
超音波による土砂災害予測に関する研究
■研究キーワード
マイクロ電気機械システム(MEMS)、圧電材料、PZT、PZT薄膜、PZTセラミックス、圧電アクチュエータ、センサ、超音波トランスデューサ、マイクロポンプ、PZT-Si接合、セラミックス、Si、接合、超音波センサ、超音波探触子、地盤災害、斜面崩壊 
■研究業績一覧  (上位3件までを表示します。一覧表示では、公開対象の全件を表示します。)

著書
電気電子回路ーアナログ・ディジタル回路ー  杉山進、田中克彦、小西聡  コロナ社  1-48  2014/01
イオン工学ハンドブック(「薄膜受動部品」)  田中克彦  イオン工学研究所  891-897  2003/05
プラズマ・イオンビーム応用とナノテクノロジー(「第6章薄膜誘電体材料」)  田中克彦  シーエムシー出版  182-194  2002/03
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論文
実大規模斜面崩壊実験による超音波土中水分水位測定システムの有用性検証  平岡伸隆、田中克彦、岩佐直人、酒匂一成、藤本将光、酒井直樹、深川良一  土木学界論文集C(地圏工学)  73/ 4, 330-341  2017/04
Fundamental study on monitoring of soil moisture and groundwater level using ultrasonic waves  N. Hiraoka, T. Kurohara, S. Nakano, K. Tanaka, M. Fujimoto, R. Fukagawa  Proceedings of the 4th Vietnam/Japan Joint Seminar on Geohazards and Environmental Issues  1-8  2014
超音波土中水分量測定における反射強度と体積含水率の相関性に関する研究  平岡伸隆、中野俊也、田中克彦、藤本将光、深川良一、外狩麻子、岩佐直人  歴史都市防災論文集  8, 131-138  2014
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科学研究費助成事業
科学研究費助成事業データベースへのリンク

競争的資金等(科研費を除く)
操作性に優れた医療穿刺用小型超音波探触子の研究  JST 研究成果最適化展開支援事業A-step 探索型  2010  2010  代表
災害予知を目的とした超音波による地中水分水位モニタリングの実用化研究  JST 地域イノベーション創出支援事業「シーズ発掘試験」発展型  2009  2009  分担
「超音波を利用した地盤内土中水センサに関する研究」他  JR 東日本KK 共同研究  2008  2010  代表
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共同・受託研究実績
超音波による水分水位モニタリング  2012/04-  共同研究  代表
超音波水分水位計測技術による斜面崩壊メカニズム解明に関する研究  2011/03-  共同研究  代表
超音波を用いた土中水の野外多点モニタリングシステムの機能向上  2010/03-2011/03  共同研究  代表
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受賞学術賞
 The 16th Conference on Current Researches in Geotechnical Engineering in Taiwanで「Excellent Paper Award」  2015
日本非破壊検査協会  日本非破壊検査協会学術奨励賞  2014/06
地盤工学会関西支部  地盤工学会関西支部地盤技術賞  2011/04
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知的財産権
透水試験装置および透水試験方法  2013-193946
超音波探触子  2012-116430  2013-240507
超音波探触子  2009-261228  2011-104052
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研究交流希望テーマ
超音波の地盤防災への応用  豪雨による斜面崩壊予知システムにおける超音波の応用、超音波による水分水位計測、透水試験  技術相談,受託研究,共同研究
医療用超音波探触子  医療診断用超音波探触子、穿刺用超音波探触子  技術相談,受託研究,共同研究
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■教育業績一覧  (上位3件までを表示します。一覧表示では、公開対象の全件を表示します)

担当授業科目
2006  マイクロエレクトロニクスの世界  講義
2006  電子回路(アナログ回路)  講義
2006  マイクロセンサ工学  講義
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■研究者からのメッセージ
マイクロデバイス(MEMS)の応用展開と高機能化に関する研究
 マイクロマシニング技術を用いて、センサ、アクチュエータをはじめとするマイクロエレクトロメカニカルシステム(MEMS)の高機能化、高集積化の研究を行っています。
特にPZTセラミックス、PZT薄膜などの圧電材料とこれを応用した圧電型アクチュエータ、圧電型センサ、超音波トランスデューサなどの研究に注力しています。機能性材料を微細加工性に優れたSi構造材料と組み合わせることにより、新機能デバイスの創生を図っていきます。PZTセラミックスとSiウエハの接合技術の応用展開も進めています。
また、超音波センサの応用として、医療用探触子の研究と超音波による豪雨斜面崩壊予知モニタリングの研究を行っています。
■関連URL
 マイクロ・ナノ集積デバイス研究室