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| スギヤマ ススム | (男) | | 杉山 進 | 教授 | | Susumu SUGIYAMA | | |
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| | | ・理工学研究科 | ・総合科学技術研究機構 / 先端マイクロ・ナノシステム技術研究センター | ・総合科学技術研究機構 / SRセンター |
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| | | 1970年 名城大学理工学部電気工学 | | 東京工業大学大学院 |
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| | 2008/04/01- | 立命館グローバル・イノベーション研究機構・教授 | | 2007/04/01-2008/03/31 | 立命館大学COE推進機構・教授 | | 1995/04/01-2007/03/31 | 立命館大学理工学部・教授 | | 2000/12/01-2010/12/31 | 立命館大学ナノマシンシステム技術研究センター・センター長 | | 1998/04/01-2002/03/31 | 立命館大学SRセンター・副センター長 | | 1993/02/01-1995/01/31 | 竃L田中央研究所・デバイス開発室長 | | 1992/02/01-1993/01/31 | 竃L田中央研究所・シリコンデバイス研究室長 | | 1965/04/01-1995/03/31 | 竃L田中央研究所 |
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| "Sensors and Materials"(MYU K.K., Tokyo) 編修委員長(1995年5月-現在) 立命館大学SRセンター副センター長(1998年4月-2002年3月) 立命館大学ナノマシンシステム技術研究センター長(2000年12月-2010年12月) 文部科学省平成14年度21世紀COEプログラム拠点リーダー(2002年10月-2007年3月) エレクトロニクス実装学会理事(2007年5月-現在) 電気学会センサ・マイクロマシン部門長(2008年5月-2010年5月) |
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| | 電気学会、エレクトロニクス実装学会、応用物理学会、日本機械学会、日本ロボット学会、電気・電子学会(The Institute of Electrical Electronics Engineers, Inc. ) |
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| | 高等学校教諭2級普通免許状 (1970)、特定高圧ガス取扱主任者 (1992) |
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| | | マイクロ・ナノマシン、センサ、集積電子機械システム |
| | センサ、アクチュエータ、およびマイクロプロセッサをワンチップに集積し、ナノメートル精度で駆動、計測、処理を行うマイクロ・ナノシステムの実現と応用研究。 |
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| | ■X線リソグラフィによる微細構造の製法に関する研究 | | ■マイクロマシニングを応用した半導体センサに関する研究 | | ■マイクロ電子・桟械システムに関する研究 |
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| | センサ工学, マイクロシステム工学, 半導体工学, 電子デバイス |
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| | | ■MHS2008(IEEE) 最優秀論文賞 (2008/11) | | ■電気学会「第24回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム」最優秀ポスター賞 (2007/10) | | ■平成16年度文部科学大臣賞(研究功績者) (2004/04) | | ■MHS2003(IEEE) 最優秀論文賞 (2003/10) | | ■MHS2002(IEEE) 最優秀論文賞 (2002/10) | | ■電気学会優秀技術活動賞 特別賞 (2000) | | ■1993 R & D 100 Award : Selected by R&D Magazine as One of the 100 Most Technologically Significant New Products of Year (1993) | | ■日刊工業新聞社第8回技術・科学図書文化賞優秀賞 (1992) |
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| | | マイクロ・ナノマシンシステムの実用化研究 | 「マイクロ・ナノマシンシステム」とは、ミクロンサイズの機械要素をシリコン基板上に集積しナノメートル精度で動作する高機能デバイスであり、半導体集積回路(IC)と同じような製法で大量生産を目指しています。IC技術が産業を変革したと同じように、マイクロ・ナノマシンシステムも次世代の産業に技術革新を起こすものであると期待されています。企業に長年籍を置き、一貫して半導体物理センサの研究・開発に従事してきました。センサの研究・開発は材料探策から実用化まで、粘り強い根気の要るものであります。自動車の電子式燃料噴射システムに用いる半導体圧力センサを世に出すまでに、約10年の歳月がかかりました。マイクロ・ナノマシンチップが世に出るまでには、地道な努力と多くの歳月が必要であると考えています。伝統ある立命館大学でこの小さくて大きなテーマに挑戦できることを大いなる喜びとしております。'65年より豊田中央研究所に在籍。'95年より本学へ。映画鑑賞、バレーボール(シニア)、サッカー観戦が趣味。工博。 |
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| | ■制御工学 | | ■知能機械学・機械システム | | ■電子デバイス・電子機器 |
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