受賞学術賞
公開件数:8件
No. 授与機関名 受賞名 受賞年月
1 応用物理学会
応用物理学会論文賞
2007/09
2 応用物理学会
応用物理学会フェロー表彰
2007/08
3 マイクロプロセス国際会議組織委員会
マイクロプロセス国際学会Best Paper Award
2002/12
4 科学技術庁
科学技術長官賞
1997/04
5 応用物理学会
応用物理学会賞
1995/08
6 日本発明協会
全国発明表彰特別賞弁理士会長賞
1993/06
7 市村財団
市村学術賞特別賞
1991/04
8 大河内記念財団
大河内記念技術賞
1983/03