共同・受託研究実績
公開件数:4件
No. 共同・受託研究テーマ 研究期間 実施形態 役割
1 ブレーズドホログラフィック回折格子の開発 【概要】全く新しい手法で回折格子を作る方法を開発、現在では市場の60%以上を本方法で占めるようになっている。
1975/04-1979/03
共同研究
代表
2 EBEPイオン源の開発とその応用 【概要】全く新しい大電流イオン源を開発、それをエッチング装置、イオン源として応用
1980/04-1982/03
共同研究
代表
3 紫外域分光放射照度測定によるオゾン濃度測定装置の校正方法の研究
2010/11-2011/03
共同研究

4 高出力深紫外半導体発光素子の開発
2009/09-2013/03
共同研究