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理工学部  /
機械工学科

 アンドウ   タエコ   (女)
 安藤    妙子   准教授
 Taeko   ANDO

■兼務所属(本学内)
総合科学技術研究機構   /
先端マイクロ・ナノシステム技術研究センター
総合科学技術研究機構   /
バイオメディカルデバイス研究センター
理工学研究科
■出身大学院・出身大学他
1996/03  名古屋大学  工学部  航空学科  卒業
1998/03  名古屋大学大学院  工学研究科  マイクロシステム工学専攻  博士課程前期課程  修了
2001/03  名古屋大学大学院  工学研究科  マイクロシステム工学専攻  博士課程後期課程  修了
■取得学位
博士(工学) (2001/03 名古屋大学)  
■職歴
2001/04-  日本学術振興会特別研究員
2001/06-2007/03  名古屋大学大学院工学研究科助手
2007/04-2008/09  名古屋大学大学院工学研究科助教
2008/10-2009/03  名古屋大学大学院工学研究科講師
2009/04-  立命館大学理工学部准教授
■所属学会
電気学会  
応用物理学会  
日本材料学会  
IEEE  
日本機械学会  
■研究テーマ
MEMSを用いたマイクロ・ナノ材料の機械的特性評価法の開発
ナノスケールシリコン単結晶の破壊メカニズムの解明
MEMSによるマイクロ・ナノスケールにおける計測技術の開発
■研究概要
MEMSを用いた計測技術の開発,およびマイクロ・ナノ材料の特性評価・破壊メカニズムの解明

 MEMES・マイクロマシンを利用したマイクロ・ナノスケールにおける諸物理量の計測技術を開発し,新しいマイクロ・ナノデバイスの創製に向けた基盤技術の構築を目指す.
また,MEMSの高機能化・高性能化,あるいは実用化に向けたデバイスの信頼性保証のためには,用いられる材料の性質を十分に把握していなければならない.そこで,MEMS材料に用いられるマイクロ・ナノスケールの構造材料の特性評価を実施し,微小化に伴い顕在化する諸物性のメカニズムを解明する.
■研究キーワード
MEMS,マイクロマシン、薄膜の機械的特性、単結晶シリコン、信頼性評価 
■研究業績一覧  (上位3件までを表示します。一覧表示では、公開対象の全件を表示します。)

著書
応用センサ工学  川村貞夫, 下ノ村和弘, 前野隆司, 牧野泰才, 西浦敬信, 玉置純, 柴田瑞穂, 岡田志麻, 安藤妙子  コロナ社  106-119  2012
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論文
Effect of Temperature and Humidity on Degradation of Single-Crystal Silicon Microbeam in MEMS Resonator  Taeko Ando, Mitsuhiro Shikida, and Kazuo Sato  Sensors and Materials  28/ 2, 113-120  2016/02  0914-4935  10.18494/SAM.2016.1161
静電容量型振動子を用いたPMMAの疲労試験  柴田 駿, 天谷 諭, 杉山 進, 安藤 妙子  電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)  135/ 7, 257  2015/07  1341-8939  10.1541/ieejsmas.135.257
Fabrication of convex Si microstructures with 45º mirror plane for application of microfluidic channels  Yasuyuki Koide, Daisuke Teramoto, Satoshi Konishi and Taeko Ando  Japanese Journal of Applied Physics  53/ 6S, 06JM13  2014
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研究発表等
単結晶シリコンのき裂治癒による破壊強度変化  日本機械学会2017年度年次大会  2017/09/04
結晶方位分布関数による多結晶集合組織のピエゾ抵抗表記  電気学会 マイクロマシン・センサシステム研究会  2017/06/29
Piezoresistance for Polycrystalline Aggregates Represented by Crystallite Orientation Distribution Function  The 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems
(Transducers2017)  2017/06/20
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科学研究費助成事業
科学研究費助成事業データベースへのリンク

競争的資金等(科研費を除く)
高温環境下におけるマイクロ構造体の高精度力学特性計測技術の開発  独立行政法人科学技術振興機構・研究成果最適展開支援事業(A-STEP)  2010  2010
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研究高度化推進制度
研究推進プログラム   科研費獲得推進型     MEMSデバイス3次元積層用プローブピンの開発   代表   -   2017/04-2018/03   2017   200,000   
研究成果国際発信プログラム   -     ナノスケールシリコンの電気機械特性   代表   -   2017/04-2018/03   2017   500,000   
研究推進プログラム   科研費連動型     薄膜シリコンのナノスケール変形・破壊メカニズムの解明   代表   -   2015/06-2016/03   2015   500,000   
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知的財産権
電子顕微鏡用試料の引張試験デバイス及びその製造方法  特願2015-202695  特開2017-75815  日本
電気的接触子  特願2015-102303  特開2016-217856  日本
曲げ疲労検出用試験体並びに曲げ疲労試験方法  2007-000903  2008-170160
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■教育業績一覧  (上位3件までを表示します。一覧表示では、公開対象の全件を表示します)

担当授業科目
2016  マイクロマシーニングⅠ  講義
2016  マイクロマシーニングⅡ  講義
2016  マイクロマシン特論  講義
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教育活動
模擬講義講師(洛北高校・高校1年生)  2015/07-2015/07
機械基礎実験科目の立ち上げ・テキスト作成
(第2回 物理量の測定方法,第3回 有効数字の取り扱い,第4回 データの整理方法,表・グラフの書き方,など)  2013/01-2013/09
立命館大学 高校1・2年生プログラム<理系に進んで世の中かえよう!!> 講師  2012/07-2012/07
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■関連URL
 マイクロ・ナノ加工計測研究室 -立命館大学
■研究分野(ReaD&Researchmap分類)
マイクロ・ナノデバイス
ナノ構造物理
ナノ材料工学
機械材料・材料力学
無機材料・物性
応用物性・結晶工学