研究者学術情報データベース

ムラタ　ジュンジ
村田　順二
MURATA Junji

所属理工学部機械工学科

職名教授

取得特許
1.		Catalyst-aided chemical processing method and apparatus （US Pat. 7651625）
2.	2012/03	シリコンインゴットの切断方法（2012-047171）
3.		平坦化方法及び平坦化装置（2009-117782）
4.		触媒支援型化学加工方法及び加工装置（2008-136983）
5.		触媒支援型加工方法及び装置（2008-121099）
6.		触媒支援型加工方法及び装置（2008-81389）
7.		研磨具及び研磨装置（2011-129596）
8.		研磨方法及び研磨装置（2011-125938）
9.		研磨方法及び研磨装置（2011-146695）
10.		研磨方法及び研磨装置（２０１０－２５１６９９）