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ムラタ ジュンジ
村田 順二
MURATA Junji
所属
理工学部 機械工学科
職名
教授
科学研究費助成事業
1.
2023/04 ~ 2025/03
固体電解質のイオン輸送を用いた環境調和型電気化学表面プロセスの開発 │ 挑戦的研究(萌芽)
2.
2023/04 ~ 2026/03
固体電解質を用いた環境調和型電気化学機械研磨のメカニズム解明と技術体系の構築 │ 基盤研究(B)
3.
2019/04 ~ 2022/03
固体電解質を用いたGaN表面の電解援用ドライポリシングの開発 │ 基盤研究(C)
4.
2015/04 ~ 2018/03
低カーフロス・薄型太陽電池Siウェハを実現する触媒援用化学的スライシングの開発 │ 基盤研究(C)
5.
2012 ~ 2014/03
次世代オプトエレクトロニクス基板の原子スケール平坦化技術の開発 │ 若手研究(B)
6.
2009 ~ 2011/03
光電気化学プロセスを利用した窒化ガリウム超平坦面作製技術の開発 │ 若手研究(B)