研究者学術情報データベース

（最終更新日 : 2022-02-17 11:22:00）

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シミズ　マサオ
清水　正男
SHIMIZU MASAO

所属総合科学技術研究機構

職名教授

学歴
1.	2001/03 (学位取得)	大阪大学博士（工学）
2.	～1985/03	大阪大学基礎工学部物性物理工学科卒業
3.	～2001/03	大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻博士課程修了

職歴
1.	1985 ～ 1989	NEC
2.	1989 ～ 2001	日本IBM
3.	2007 ～ 2019	オムロン
4.	2001 ～ 2015	立命館大学理工学部非常勤講師
5.	2001 ～ 2019	大阪電気通信大学情報通信工学部非常勤講師
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研究テーマ
1.	電子デバイスを用いたロボットハンド開発

研究概要
電子デバイスを用いたロボットハンド開発

現在の専門分野
キーワード：センサ、半導体、電子工学、MEMS、ロボット

著書
1.	2015	IoT/CPS/M2M応用市場とデバイス・材料技術第6章第3節(p182 - p192) │ (共著)
2.	2014	医療・ヘルスケア分野向け　エレクトロ技術の最新展開第2章第2節（p47-p60） │ (共著)

論文
1.	1996	Deep Via Inspection Method Using Absorbed Electron Images (AEI) │ Proceeding of the 5th International Symposium on Semiconductor Manufacturing │ (共著)
2.	2001	Lifetime of metastable fluorine atoms │ Appl. Phys. B │ (72),227–230 (共著)
3.	2006	Lifetime measurement of metastable fluorine atoms using electron cyclotron resonance plasma source │ J. Vac. Sci. Tech A │ 24 (6),2133-2138 (共著)

学会発表
1.	2013	ヘルスケア機器とMEMSセンサ (SEMI FOURUM JAPAN 2013)
2.	2014	メーカーの品質管理・製造工程管理に活用されるビッグデータ解析 (ビックデータ実践フォーラム(大阪電気通信大学）)
3.	2015	生体計測とヒューマンインタフェイス (実装技術研究会公開研究会)
4.	2021	Cyber Physical System Considering Physical Contacts in Robotic Manipulation for Improving Automation in Food Industry (ICSIM 2021)
5.	2021/10/05	モバイルマニュピレータによる下膳作業 (IoT/ロボティクスによる農林水産業の自動化近未来像を探る)

講師・講演
1.	2020/11/19	世の中どう変わる？ロボットとAIの未来

受賞学術賞
1.	2014	半導体産業新聞「第20回半導体・オブ・ザ・イヤー」グランプリ

取得特許
1.	2002	US PAT, Dry Etching Method and Apparatus, US6355569B1,Mar.12.2002.
2.	2020/10/27	FORCE DETECTOR （US10816417B2）

社会における活動
1.	2000/02	合気道の指導と普及
2.	2021/04/01	滋賀県合気道連盟理事長