ミネモト タカシ
峯元 高志
MINEMOTO Takashi
所属 理工学部 電気電子工学科
職名 教授
発表年月日 2004
発表テーマ Nanoimprint Lithography Using Novolak Photoresist and Soft Mold at Room Temperature
会議名 2004 International Conference on Solid State Devices and Materials
学会区分 国際学会
単独共同区分 共同
発表者・共同発表者 Takahiro Numai, Takeshi Koide, Takashi Minemoto, Hideyuki Takakura and Yoshihiro Hamakawa