シミズ マサオ
清水 正男
SHIMIZU MASAO
所属 総合科学技術研究機構
職名 教授
言語種別 英語
発行・発表の年月 2006
形態種別 論文(その他)
査読 査読あり
標題 Lifetime measurement of metastable fluorine atoms using electron cyclotron resonance plasma source
執筆形態 共著
掲載誌名 J. Vac. Sci. Tech A
巻・号・頁 24(6),2133-2138