アオヤギ ヨシノブ
青柳 克信
AOYAGI Yoshinobu
所属 総合科学技術研究機構
職名 上席研究員
言語種別 英語
発行・発表の年月 1991/03
形態種別 その他
標題 Atomic Layer Growth and Processing
執筆形態 共著
出版社・発行元 Material Research Society
著者・共著者 T.F. Kuech, P.D. Dapkus, Y. Aoyagi