アオヤギ ヨシノブ
青柳 克信
AOYAGI Yoshinobu
所属 総合科学技術研究機構
職名 上席研究員
言語種別 英語
発行・発表の年月 1994
形態種別 論文(その他)
標題 Control of the etching reaction of digital etching using tunable UV laser irradiation
執筆形態 共著
掲載誌名 Appl. Surf. Sci.
巻・号・頁 82・83,193-199
著者・共著者 T. Meguro, M. Ishii, T. Sugano, K. Gamo and Y. Aoyagi