アオヤギ ヨシノブ
青柳 克信
AOYAGI Yoshinobu
所属 総合科学技術研究機構
職名 上席研究員
言語種別 英語
発行・発表の年月 1993
形態種別 論文(その他)
標題 Composition change of indium oxide film by triethylgallium irradiation prepared for in situ selective epitaxy use
執筆形態 共著
掲載誌名 Jpn. J. Appl. Phys.
巻・号・頁 32,4732-4736
著者・共著者 K. Ozasa, T. Ye and Y. Aoyagi