アオヤギ ヨシノブ
青柳 克信
AOYAGI Yoshinobu
所属 総合科学技術研究機構
職名 上席研究員
言語種別 英語
発行・発表の年月 2001
形態種別 論文(その他)
標題 GaN ablation etching by simultaneous irradiation with F2 laser and KrF excimer laser
執筆形態 共著
掲載誌名 J. Vac. Sci. Technol. B
巻・号・頁 19,1388-1391
著者・共著者 T. Akane, K. Sugioka, K. Hammura, Y. Aoyagi, K. Midorikawa, K. Obata, K. Toyoda and S. Nomura