アオヤギ ヨシノブ
青柳 克信
AOYAGI Yoshinobu
所属 総合科学技術研究機構
職名 上席研究員
研究期間 1980/04 ~ 1982/03
研究課題 EBEPイオン源の開発とその応用 【概要】全く新しい大電流イオン源を開発、それをエッチング装置、イオン源として応用
実施形態 共同研究
研究委託元等の名称 (株)東京エレクトロン、(株)東芝 その他
代表分担区分 研究代表者