アオヤギ ヨシノブ
青柳 克信
AOYAGI Yoshinobu
所属 総合科学技術研究機構
職名 上席研究員
取得国 国内
出願番号 2007-17454
出願年月日 2007/01
公開番号 2008-186885
特許出願人 13ソニ- (株);11理化学研究所:(政)
発明者 野本 和正;平井 暢一;安田 亮一;八木 厳;三成 剛生;塚越 一仁;青柳 克信
特許名 薄膜半導体装置の製造方法および薄膜半導体装置