アオヤギ ヨシノブ
青柳 克信
AOYAGI Yoshinobu
所属 総合科学技術研究機構
職名 上席研究員
出願番号 US20050196094
出願年月日 2005/08
特許番号 US2006038137 (A1)
特許出願人 RIKEN & SII NANOTECHNOLOGY INC
発明者 FUJII TOSHIAKI [JP]; ABE MASAO [JP]; SHIGETO KUNJI [JP]; KAWAMURA MINURU [JP]; KASUMOV ALEKBER Y [JP]; TSUKAGOSHI KAZUHITO [JP]; AOYAGI YOSHINOBU [JP]
特許名 Charged particle beam apparatus and method of forming electrodes having narrow gap therebetween by using the same