アオヤギ ヨシノブ
青柳 克信
AOYAGI Yoshinobu
所属 総合科学技術研究機構
職名 上席研究員
出願番号 WO2005JP11925
出願年月日 2005/06
特許番号 WO2006003921 (A1)
特許出願人 RIKEN [JP]; OKINAKA MOTOKI; TSUKAGOSHI KAZUHITO; AOYAGI YOSHINOBU
発明者 OKINAKA MOTOKI; TSUKAGOSHI KAZUHITO; AOYAGI YOSHINOBU
特許名 FINE PATTERN FORMING METHOD AND FINE PATTERN FORMING DEVICE