アオヤギ ヨシノブ
青柳 克信
AOYAGI Yoshinobu
所属 総合科学技術研究機構
職名 上席研究員
取得国 国内
出願番号 2005-93028
出願年月日 2005/03
公開番号 2006-278554
特許出願人 13東京工業大学:(学)
発明者 川崎 宏治;青柳 克信;細野 秀雄
特許名 AlGaN系深紫外発光素子およびその製造方法