アオヤギ ヨシノブ
青柳 克信
AOYAGI Yoshinobu
所属 総合科学技術研究機構
職名 上席研究員
取得国 国内
出願番号 2005-90952
出願年月日 2005/03
公開番号 2006-278402
特許出願人 11理化学研究所:(政);13東京工業大学:(学);35トクヤマ:(株)
発明者 武内 道一;青柳 克信;川崎 宏治;木下 亨
特許名 窒化物半導体の製造方法