アオヤギ ヨシノブ
青柳 克信
AOYAGI Yoshinobu
所属 総合科学技術研究機構
職名 上席研究員
取得国 国内
出願番号 2004-374976
出願年月日 2004/12
公開番号 2006-185962
特許出願人 13東京工業大学:(学);11理化学研究所:(政);35トクヤマ:(株)
発明者 青柳 克信;武内 道一;川崎 宏治;木下 亨
特許名 半導体成長用基板および半導体膜の製造方法