アオヤギ ヨシノブ
青柳 克信
AOYAGI Yoshinobu
所属 総合科学技術研究機構
職名 上席研究員
取得国 国内
出願番号 2004-240998
出願年月日 2004/08
公開番号 2006-59701
特許出願人 12エスアイアイ ナノテクノロジ- (株);11理化学研究所:(政)
発明者 藤井 利昭;阿部 正男;重藤 訓志;川村 稔;アレクバ- ユ- カスモフ;塚越 一仁;青柳 克信
特許名 荷電粒子ビ-ム装置およびそれを用いた狭ギヤツプ電極形成方法