アオヤギ ヨシノブ
青柳 克信
AOYAGI Yoshinobu
所属 総合科学技術研究機構
職名 上席研究員
取得国 国内
出願番号 2004-195131
出願年月日 2004/07
公開番号 2006-19464
特許出願人 11理化学研究所:(政)
発明者 沖仲 元毅;塚越 一仁;青柳 克信
特許名 微細パタ-ン形成方法および微細パタ-ン形成装置