アオヤギ ヨシノブ
青柳 克信
AOYAGI Yoshinobu
所属 総合科学技術研究機構
職名 上席研究員
取得国 国内
出願番号 2003-16940
出願年月日 2003/01
公開番号 2004-228455
特許番号 4199014
特許出願人 11理化学研究所:(政)
発明者 岩井 荘八;平山 秀樹;青柳 克信
特許名 半導体の不純物ド-ピング方法およびその装置