アオヤギ ヨシノブ
青柳 克信
AOYAGI Yoshinobu
所属 総合科学技術研究機構
職名 上席研究員
取得国 国内
出願番号 2002-187362
出願年月日 2002/06
公開番号 2003-51450
特許番号 3668802
特許出願人 11理化学研究所:(政)
発明者 一色 秀夫;岩井 荘八;青柳 克信;菅野 卓雄
特許名 原子層成長による薄膜形成方法