アオヤギ ヨシノブ
青柳 克信
AOYAGI Yoshinobu
所属 総合科学技術研究機構
職名 上席研究員
取得国 国内
出願番号 2002-128854
出願年月日 2002/04
公開番号 2003-322617
特許出願人 11理化学研究所:(政);14片桐エンジニアリング:(株)
発明者 武内 道一;青柳 克信;田 昭治
特許名 薄膜測定装置