アオヤギ ヨシノブ
青柳 克信
AOYAGI Yoshinobu
所属 総合科学技術研究機構
職名 上席研究員
出願番号 H01L21/20B6B2; H01L21/20B6B6
出願年月日 2001/09
特許番号 US2002100412 (A1)
特許出願人 HIRAYAMA HIDEKI, ; AOYAGI YOSHINOBU, ; HIRATA AKIRA
発明者 HIRAYAMA HIDEKI [JP]; AOYAGI YOSHINOBU [JP]; HIRATA AKIRA [JP]
特許名 Low dislocation buffer and process for production thereof as well as device provided with low dislocation buffer