アオヤギ ヨシノブ
青柳 克信
AOYAGI Yoshinobu
所属 総合科学技術研究機構
職名 上席研究員
出願番号 C30B25/02; C30B25/14; C30B29/40B; C30B29/40B2; H01L21/205C6
出願年月日 2001/01
特許番号 EP1184489 (A2)
特許出願人 RIKEN [JP]
発明者 AOYAGI YOSHINOBU [JP]; IWAI SOUHACHI [JP]; HIRAYAMA HIDEKI [JP]
特許名 Impurity doping method for semiconductor as well as system therefor and semiconductor materials prepared thereby