アオヤギ ヨシノブ
青柳 克信
AOYAGI Yoshinobu
所属 総合科学技術研究機構
職名 上席研究員
取得国 国内
出願番号 2000-264743
出願年月日 2000/09
公開番号 2002-75879
特許出願人 11理化学研究所:(政)
発明者 青柳 克信;岩井 荘八;平山 秀樹
特許名 半導体の不純物ド-ピング方法、その装置および半導体材料