アオヤギ ヨシノブ
青柳 克信
AOYAGI Yoshinobu
所属 総合科学技術研究機構
職名 上席研究員
取得国 国内
出願番号 2000-40355
出願年月日 2000/02
公開番号 2001-230210
特許番号 3536057
特許出願人 11理化学研究所
発明者 武内 道一;田中 悟;青柳 克信
特許名 物質層形成装置