アオヤギ ヨシノブ
青柳 克信
AOYAGI Yoshinobu
所属 総合科学技術研究機構
職名 上席研究員
取得国 国内
出願番号 10-315751
出願年月日 1998/11
公開番号 2000-140781
特許出願人 11理化学研究所:(政);SGデ-タ ストレ-ジ INST
発明者 陸 永楓;青柳 克信
特許名 物体表面の洗浄および状態判定方法ならびにその装置