アオヤギ ヨシノブ
青柳 克信
AOYAGI Yoshinobu
所属 総合科学技術研究機構
職名 上席研究員
取得国 国内
出願番号 09-309848
出願年月日 1997/10
公開番号 11-131229
特許出願人 11理化学研究所:(政)
発明者 岩井 荘八;青柳 克信
特許名 薄膜の形成方法および薄膜の形成装置