アオヤギ ヨシノブ
青柳 克信
AOYAGI Yoshinobu
所属 総合科学技術研究機構
職名 上席研究員
取得国 国内
出願番号 09-91591
出願年月日 1997/03
公開番号 10-270368
特許出願人 11理化学研究所:(政);11田中 悟
発明者 田中 悟;青柳 克信
特許名 SiCハイブリツド基板及びその製造方法