アオヤギ ヨシノブ
青柳 克信
AOYAGI Yoshinobu
所属 総合科学技術研究機構
職名 上席研究員
取得国 国内
出願番号 08-45405
出願年月日 1996/02
公開番号 09-219540
特許出願人 11理化学研究所
発明者 田中 悟;岩井 荘八;青柳 克信
特許名 GaN薄膜の形成方法