アオヤギ ヨシノブ
青柳 克信
AOYAGI Yoshinobu
所属 総合科学技術研究機構
職名 上席研究員
取得国 国内
出願番号 06-282280
出願年月日 1994/11
公開番号 08-138598
特許出願人 28川崎重工業 (株);11理化学研究所
発明者 大西 勝;東海 正国;長谷川 猛;竜治 真;原 民夫;浜垣 学;青柳 克信
特許名 電子ビ-ム励起プラズマ発生装置