アオヤギ ヨシノブ
青柳 克信
AOYAGI Yoshinobu
所属 総合科学技術研究機構
職名 上席研究員
取得国 国内
出願番号 06-244764
出願年月日 1994/09
公開番号 07-335395
特許出願人 11理化学研究所:(政)
発明者 尾笹 一成;青柳 克信
特許名 プラズマ発生方法およびそれを用いた成膜方法、エツチング方法、半導体堆積方法ならびにド-ピング方法