アオヤギ ヨシノブ
青柳 克信
AOYAGI Yoshinobu
所属 総合科学技術研究機構
職名 上席研究員
取得国 国内
出願番号 06-238603
出願年月日 1994/09
公開番号 08-78399
特許番号 3498810
特許出願人 11理化学研究所
発明者 尾笹 一成;青柳 克信;金 銀奎
特許名 化合物半導体のドライ・エツチング方法