アオヤギ ヨシノブ
青柳 克信
AOYAGI Yoshinobu
所属 総合科学技術研究機構
職名 上席研究員
取得国 国内
出願番号 06-165752
出願年月日 1994/06
公開番号 08-13144
特許番号 3639850
特許出願人 11理化学研究所:(政);28川崎重工業 (株)
発明者 原 民夫;浜垣 学;青柳 克信;竜治 真;長谷川 猛;伴 雅人;東海 正国
特許名 電子ビ-ム励起プラズマスパツタリング装置