アオヤギ ヨシノブ
青柳 克信
AOYAGI Yoshinobu
所属 総合科学技術研究機構
職名 上席研究員
取得国 国内
出願番号 06-143632
出願年月日 1994/06
公開番号 08-17701
特許番号 3370778
特許出願人 11理化学研究所
発明者 原 民夫;安藤 剛三;青柳 克信
特許名 プラズマ再結合X線レ-ザ-露光装置