アオヤギ ヨシノブ
青柳 克信
AOYAGI Yoshinobu
所属 総合科学技術研究機構
職名 上席研究員
取得国 国内
出願番号 06-129753
出願年月日 1994/05
公開番号 07-311181
特許番号 3199147
特許出願人 11理化学研究所
発明者 陸 永楓;青柳 克信
特許名 音波を用いた基板表面状態検出方法およびその装置