アオヤギ ヨシノブ
青柳 克信
AOYAGI Yoshinobu
所属 総合科学技術研究機構
職名 上席研究員
取得国 国内
出願番号 06-82653
出願年月日 1994/03
公開番号 07-272659
特許番号 3397438
特許出願人 11理化学研究所;28川崎重工業 (株)
発明者 原 民夫;浜垣 学;青柳 克信;山下 清司;大西 勝;舵山 洋介
特許名 電子ビ-ム励起イオンプラズマ発生装置