アオヤギ ヨシノブ
青柳 克信
AOYAGI Yoshinobu
所属 総合科学技術研究機構
職名 上席研究員
取得国 国内
出願番号 05-268531
出願年月日 1993/10
公開番号 07-126097
特許番号 2603898
特許出願人 11理化学研究所
発明者 青柳 克信;張 随安
特許名 超音速分子ビ-ムによる薄膜成長方法及び薄膜成長装置