アオヤギ ヨシノブ
青柳 克信
AOYAGI Yoshinobu
所属 総合科学技術研究機構
職名 上席研究員
取得国 国内
出願番号 05-195538
出願年月日 1993/07
公開番号 07-74135
特許番号 3106040
特許出願人 11理化学研究所
発明者 陸 永楓;青柳 克信
特許名 基板表面のドライ・クリ-ニング・システム