アオヤギ ヨシノブ
青柳 克信
AOYAGI Yoshinobu
所属 総合科学技術研究機構
職名 上席研究員
取得国 国内
出願番号 04-193846
出願年月日 1992/07
公開番号 06-45256
特許出願人 11理化学研究所;11科学技術振興事業団
発明者 尾笹 一成;目黒 多加志;青柳 克信
特許名 ガスパルスの供給方法およびこれを用いた成膜方法