アオヤギ ヨシノブ
青柳 克信
AOYAGI Yoshinobu
所属 総合科学技術研究機構
職名 上席研究員
取得国 国内
出願番号 04-132548
出願年月日 1992/05
公開番号 05-326412
特許番号 3182584
特許出願人 11理化学研究所
発明者 岩井 荘八;青柳 克信;目黒 多加志
特許名 化合物薄膜形成方法