アオヤギ ヨシノブ
青柳 克信
AOYAGI Yoshinobu
所属 総合科学技術研究機構
職名 上席研究員
取得国 国内
出願番号 04-71255
出願年月日 1992/03
公開番号 05-275378
特許番号 3217844
特許出願人 11理化学研究所;13石川島播磨重工業 (株)
発明者 青柳 克信;中本 一朗;蒲生 健次
特許名 エツチングダメ-ジ防止方法