アオヤギ ヨシノブ
青柳 克信
AOYAGI Yoshinobu
所属 総合科学技術研究機構
職名 上席研究員
取得国 国内
出願番号 04-14991
出願年月日 1992/01
公開番号 05-206036
特許番号 3126787
特許出願人 11理化学研究所
発明者 青柳 克信;尾笹 一成;目黒 多加志
特許名 成膜方法および成膜装置