アオヤギ ヨシノブ
青柳 克信
AOYAGI Yoshinobu
所属 総合科学技術研究機構
職名 上席研究員
取得国 国内
出願番号 03-213762
出願年月日 1991/08
公開番号 05-51300
特許番号 3020321
特許出願人 11理化学研究所
発明者 原 史朗;青柳 克信
特許名 単原子堆積法