アオヤギ ヨシノブ
青柳 克信
AOYAGI Yoshinobu
所属 総合科学技術研究機構
職名 上席研究員
取得国 国内
出願番号 03-199208
出願年月日 1991/08
公開番号 05-326188
特許番号 2910944
特許出願人 11理化学研究所;13日本電子 (株)
発明者 原 民夫;浜垣 学;青柳 克信;日下部 和利
特許名 プラズマ生成装置