アオヤギ ヨシノブ
青柳 克信
AOYAGI Yoshinobu
所属 総合科学技術研究機構
職名 上席研究員
取得国 国内
出願番号 01-249725
出願年月日 1989/09
公開番号 03-110844
特許出願人 11理化学研究所
発明者 目黒 多加志;浜垣 学;原 民夫;青柳 克信
特許名 デイジタル・エツチング方法